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华力购进最先进的浸没式光刻机,未来月产能4万片

2018-05-21 12:10来源:中国存储网
导读:华虹六厂购买荷兰阿斯麦公司的NXT 1980Di光刻机,是目前中国大陆集成电路生产线上最先进的浸没式光刻机。

华力购进最先进的浸没式光刻机,未来月产能4万片

电子芯片网报道,5月21日上午,在上海浦东新区康桥工业园南区,由华虹集团旗下上海华力集成电路制造有限公司建设和营运的12英寸先进生产线建设项目(以下简称“华虹六厂”)实现首台工艺设备——光刻机搬入, 标志着华虹六厂从基建阶段进入工艺设备安装调试阶段。 

此次搬入的首台工艺设备为荷兰阿斯麦公司ASML的NXT 1980Di光刻机,是目前中国大陆集成电路生产线上最先进的浸没式光刻机。 

华力12英寸先进生产线建设项目是上海市最大的集成电路产业投资项目,总投资387亿元人民币,将建成月产能4万片的12英寸集成电路芯片生产线,工艺覆盖28-14纳米技术节点。项目计划于2022年底达到产能目标。项目主要从事逻辑芯片生产,重点服务国内设计企业先进芯片的制造,并满足部分事关国家信息安全的重点芯片制造需求。项目已被列入国家《“十三五”集成电路产业重大生产力布局规划》,是国家“910工程”的子项目之一,也是“十三五”期间上海市重大产业项目和上海市重大工程。 

华力12英寸先进生产线建设项目实现首台工艺设备搬入,标志着将康桥工业园南区打造为上海集成电路产业发展新基地、上海市落实《国家集成电路产业发展推进纲要》取得了阶段性胜利,同时对上海建设先进制造业的产业集群高地、打响“上海制造”品牌有着重要意义。 

自2016年12月30日开工以来,经过16个半月的努力,目前主厂房已完成净化装修,相关配套机电设备准备就绪,具备了工艺设备搬入条件,较原计划进度提前1个半月。 

未来五个月内,华虹六厂工艺设备将集中搬入,并完成安装调试,年底前完成生产线串线并实现试流片。

2017年的时候SK 海力士无锡厂也购入了该款光刻机。

荷兰阿斯麦ASML公司简介

(全称: Advanced Semiconductor Material Lithography, 目前该全称己不做为公司标识使用,公司的注册标识为ASML Holding N.V),中文名称为阿斯麦(中国大陆)、艾司摩尔(中国台湾)。是总部设在荷兰Veldhoven的全球最大的半导体设备制造商之一,向全球复杂集成电路生产企业提供领先的综合性关键设备。ASML的股票分别在阿姆斯特丹及纽约上市。

ASML为半导体生产商提供光刻机及相关服务,TWINSCAN系列是目前世界上精度最高,生产效率最高,应用最为广泛的高端光刻机型。目前全球绝大多数半导体生产厂商,都向ASML采购TWINSCAN机型,例如英特尔(Intel),三星(Samsung),海力士(Hynix),台积电(TSMC),中芯国际(SMIC)等。

ASML的产品线分为PAS系列,AT系列,XT系列和NXT系列,其中PAS系列光源为高压汞灯光源,现已停产,AT系列属于老型号,多数已经停产。市场上主力机种是XT系列以及NXT系列,为ArF和KrF激光光源,XT系列是成熟的机型,分为干式和沉浸式两种,而NXT系列则是现在主推的高端机型,全部为沉浸式。

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光刻机
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