超纯水是一种除去水中离子之外,同时将水中之二氧化硅、颗粒物、细菌、有机物、微生物一并给予有限度的去除达到完全纯净程度的水质,常被应用在电子行业。
在芯片制造过程中,我国存在着明显的不足,尤其是在芯片制造上游的材料和设备领域,很容易出现失控局面,如果一个环节被卡住,就会阻碍整个行业的发展生命线。但相应的产业环节存在着技术壁垒高、市场规模小的现实。在实质落后的情况下,单靠市场力量赶超是不现实的,因此,国家需要在金融支持和政策引导方面重点关注行业的核心和薄弱环节。
由于集成电路在制作过程中对设计的需求朝着更精密更细小的趋势发展,因而对纯水水质的要求也越趋严格,而超纯水是一种除去水中离子之外,同时将水中之二氧化硅、颗粒物、细菌、有机物、微生物一并给予有限度的去除达到完全纯净程度的水质,常被应用在电子行业。
传统的超纯水制备工艺通常是采用离子交换树脂进行制取,但采用离子交换树脂停产需要进行树脂再生,既耗费物力又耗费人工,而莱特莱德经过多年实践,同时结合膜分离技术,采用反渗透结合EDI装置相结合的工艺来制备超纯水,其出水电阻率可达18 MΩ*cm(25℃),符合集成电路生产用水需求。
莱特莱德超纯水设备具有抗污染能力强、节能环保、产水水质稳定、脱盐率高、系统内无死水等优势,出水水质符合美国ASTM D5127电子及半导体业用纯水水质TypeE-1.2,高于中国国家电子级超纯水标准GBT11446.1-1997EW-Ⅰ标准。
解决"芯"病,除了政策导向外,如何破解半导体材料,关键设备等真正的“卡脖子”环节是重中之重。我国在大力发展集成电路的同时,对其用水水质也提出了更高的要求,可以说超纯水设备成为了集成电路行业的热点,在集成电路生产过程中提供了一剂强有力的“心”药。
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